中科九微80%设备投入生产，为国产核心零部件提供有力基础

中科九微半导体设备智能制造项目迎来新进展，目前 306 台生产设备基本到位，其中 80%设备已投入生产，预计 6 月底实现全部投产。

据悉，该项目于 2018 年 9 月在西博会上签约，重点针对半导体装备和核心部件的需求，打造一条集研发、设计、精密制造、营销和服务一体化的产业链。项目原计划两年半完成，但基于市场需求井喷式增长、许多核心零部件面临断供等因素，公司决定将建设周期缩短为一年。

中科九微半导体智能制造项目总投资 28 亿元，占地约 290 亩，将生产全磁悬浮洁净获得设备、半导体芯片生长室、洁净获得设备、半导体系统集成模块等用于半导体加工制作过程中的设备及核心部件。

中科九微成立于 2018 年 9 月 7 日，由九川科技集团、中国科学院微电子所等共同设立，是中国科学院微电子所和九川科技集团合作的重点项目，其中中国科学院微电子所占股 20%。

九川科技集团是一家以生产高低压成套、输配电设备、超高压变压器、机床电器、电工建筑电器、元器件、电线电缆和数控机床等为主的大型现代化制造业集团企业，而中国科学院微电子所则为半导体业界所熟知。

中国科学院微电子所前身为成立于 1958 年的原中国科学院 109 厂，后与中国科学院半导体研究所、计算技术研究所有关研制大规模集成电路部分合并，国内微电子领域学科方向布局最完整的综合研究与开发机构、国家科技重大专项集成电路装备及工艺前瞻性研发牵头组织单位等。